משאבת דיפוזיה
משאבת דיפוזיה היא סוג של משאבת ואקום. המשאבה משתמשת בסילון של שמן הזורם במהירות גבוהה על מנת לנתב את מולקולות הגז החוצה דרך צינור הפליטה. המשאבה מאפשרת לקבל ואקום עם לחץ של עד טור. החיסרון של משאבה זאת הוא בזרימה חוזרת של שמן לתוך תא הוואקום ולכן היא אינה משמשת כאשר נחוצה סביבת ואקום נקייה. על מנת להתגבר על חיסרון זה ניתן להשתמש במלכודות קרות, אך זה מוריד את יכולת השאיבה.